Сотрудничаем со строительными организациями, архитекторами и проектировщиками, ЛПУ санаториями. Быстрая обработка запроса. Выделяем персонального менеджера для работы с Вашим проектом.
- Артикул:319507
- 0
- Регистрационное удостоверение:Да
- Увеличение:непрерывное от 2× до 1 000 000×
- Показать все характеристики
Аналитический сканирующий электронный микроскоп для рутинных исследовательских задач и контроля качества на микроуровне.
TESCAN VEGA Compact – производительный аналитический сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) начального уровня. Представляет из себя компактный вариант исполнения хорошо известного микроскопа TESCAN VEGA. Благодаря компактной и упрощенной конфигурации, в которой оптимизированы функции обработки изображений и анализа состава, VEGA Compact становится экономически эффективным решением для лабораторий, где приоритетом является понимание основных отличительных особенностей образцов.СЭМ TESCAN VEGA Compact позволяет получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени в одном окне программного обеспечения TESCAN Essence™, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе и делает этот микроскоп эффективным аналитическим решением для проведения регулярного контроля качества материалов, анализа отказов и различных лабораторных исследований.
Модернизированная колонна электронного микроскопа управляется усовершенствованной электроникой, которая обеспечивает мгновенный переход от режима получения изображений при больших увеличениях к режиму исследования элементного состава образцов без механической смены апертур или механической юстировки каких-либо элементов внутри колонны. С программным обеспечением для энергодисперсионного микроанализа (EDS), интегрированным в программу управления микроскопом (Essence™ EDS), переход от получения изображений к анализу составов быстрый и лёгкий. Один клик позволяет переключаться между предустановками, сохраняющими все настройки параметров микроскопа.
Кроме того, режим Wide Field Optics™ гарантирует точную навигацию к области интереса и предоставляет оператору возможность обзора всей карусели образцов в реальном времени. Wide Field Optics™ обеспечивает беспрецедентную глубину фокуса и ширину поля зрения без использования фотонавигации. Наряду с наблюдением фактической топографии поверхности образцов данный режим позволяет осуществлять интуитивную навигацию по всей их поверхности. Начните наблюдение в окне СЭМ в реальном времени с двукратным увеличением для обозрения карусели образцов, затем переходите к областям интереса, непрерывно изменяя увеличение в большую сторону, всё это без использования оптической навигационной камеры.
Управление микроскопом TESCAN VEGA Compact осуществляется из многопользовательского программного обеспечения TESCAN Essence™, которое имеет большое количество инструментов для ускорения аналитической работы, таких как функция быстрого поиска, наборы предустановок, отмена последней команды. Программное обеспечение TESCAN Essence™ позволяет пользователю выстраивать рабочий процесс в соответствии с его уровнем опыта и/или конкретными требованиями. Программное обеспечение TESCAN Essence™ также позволяет пользователям настраивать экранный интерфейс таким образом, чтобы отображались только те функции и окна, которые необходимы для конкретной работы, что помогает малоопытному пользователю без труда получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава. Кроме того, виртуальная 3D-модель коллизий Essence™ Collision model точно воспроизводит внутреннее пространство камеры и отображает в реальном времени размеры, расположение и перемещение столика с образцами и оборудования, установленного внутри. Модель Essence™ Collision model предсказывает опасность или безопасность предполагаемых перемещений столика относительно частей камеры микроскопа для каждой конкретной процедуры съемки изображения или проведения анализа, чтобы столкновение образцов с выдвижным BSE-детектором было практически невозможно. В стандартную комплектацию VEGA Compact входят детектор вторичных электронов (SE) и 4-сегментный полупроводниковый детектор отражённых электронов (4Q BSE), которые позволяют получать изображения образца с топографическим и композиционным контрастом соответственно. Оба сигнала могут регистрироваться одновременно для ускорения процесса получения изображений. Для лабораторий, которые проводят быстрый и рутинный анализ элементного состава исследуемых материалов, VEGA Compact гарантирует условия высокого вакуума (10-3 Па) для получения качественных результатов анализа с помощью единого и простого интерфейса. Вакуумная камера VEGA Compact вмещает образцы диаметром более 100 мм и высотой более 50 мм.
Описанные выше особенности делают TESCAN VEGA Compact целевым аналитическим решением для контроля качества и изучения характеристик различных материалов как в производственных, так и в научно-исследовательских лабораториях.
Ключевые преимущества
- Аналитическая платформа с полностью интегрированной системой TESCAN Essence™ EDS, которая эффективно объединяет режим получения СЭМ-изображений и анализ элементного состава в одном окне программного обеспечения Essence™.
- Плавный переход без дополнительных юстировок между пред-настроенными режимами сканирования (например, режимом получения СЭМ-изображений при больших увеличениях и режимом анализа элементного состава) осуществлен благодаря внедрению запатентованной TESCAN технологии In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени).
- Легкая и точная навигация по образцу при увеличении от 2× без необходимости использования дополнительной оптической навигационной камеры благодаря уникальной конструкции электронной оптики Wide Field Optics™.
- Интуитивно понятное модульное программное обеспечение Essence™ для удобной работы независимо от уровня опыта пользователя.
- Движение столика с образцами безопасно для установленных в камеру детекторов, что гарантируется 3D-моделью камеры образцов, включающей в себя схему коллизий Essence™ 3D Collision model.
- Опция Vacuum Buffer для снижения акустического шума при работе форвакуумного насоса, а также для снижения вибрации от форвакуумного насоса при получении изображений с высоким разрешением.
Электронная колонна TESCAN VEGA
- Источник электронов: термоэмиссионный вольфрамовый катод
- Диапазон энергий электронного пучка, падающего на образец: от 200 эВ до 30 кэВ
- Для изменения тока пучка в качестве устройства смены апертур используется электромагнитная линза
- Ток пучка: от 1 пА до 2 мкА с непрерывной регулировкой
- Максимальное поле обзора: 7.7 мм при WD = 10 мм, более 50 мм при максимальном WD
- Увеличение: непрерывное от 2× до 1 000 000×
Разрешение электронной колонны
Режим высокого вакуума
- 3 нм при 30 кэВ, детектор SE
- 8 нм при 3 кэВ, детектор SE
4Q BSE детектор
- 3.5 нм при 30 кэВ
Вакуумная камера
- Внутренний диаметр: 230 мм
- Количество портов: 6
- Инфракрасная камера обзора
Столик
- Компуцентрический, моторизованный по 5-ти осям
- Диапазон перемещений столика по осям X и Y: 80 (X) × 60 (Y) мм
- Диапазон перемещений столика по оси Z: 50 мм
- Диапазон компуцентрического наклона: от – 80° до + 80°
- Компуцентрическое вращение: 360° непрерывно
- Максимальная высота образца: 54 мм (81 мм без опции вращения столика)
- Максимальные размеры образца: 145 (X) × 145 (Y) мм
- Максимальный вес образца: 500 грамм (X, Y, Z, R, наклон)
- Максимальный вес образца без опций вращения и наклона столика: 1000 грамм (X, Y, Z)
Вакуум в камере образцов (* – опционально)
- Режим высокого вакуума: 10-3 Па
- Типы форвакуумного насоса: масляный пластинчато-роторный насос
- Вакуумный буфер *
Детекторы и измерители (* – опционально)
- Измеритель поглощенного тока, включающий в себя функцию датчика касания
- Внутрикамерный детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (SE)
- 4-сегментный выдвижной полупроводниковый детектор отражённых электронов (4Q BSE)
- EDS – энергодисперсионный спектрометр (интегрированный продукт другого производителя) *
Essence™ EDS* (* – опционально)
- Анализ элементного состава доступен в реальном времени в живом окне сканирования СЭМ в программном обеспечении Essence™ с использованием полностью интегрированного энергодисперсионного спектрометра (ЭДС).
- Ручное вдвижение/выдвижение*
- Режимы сбора данных: спектр из области, очередь из спектров (Point &ID), элементное картирование и профилирование
- Размер кристалла ЭДС-детектора 30 мм2
- Окно ЭДС-детектора из нитрида кремния Si3N4
- Спектральное разрешение 129 эВ на линии Mn Kα
- Количество вариантов настройки обработки импульсов: 3
- Максимальная входная скорость счета: до 1 000 000 имп/сек.
- Максимальная выходная скорость счета: до 300 000 имп/сек.
- Количественный анализ: безэталонный с ZAF-коррекцией
- Выгрузка отчётов
Система сканирования
- Время выдержки: 20 нс – 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
- Варианты сканирования: полный кадр, выделенная область, сканирование по линии и в точке
- Сдвиг и вращение области сканирования, коррекция наклона поверхности образца
- Аккумулирование линий или кадров
- Динамический фокус
- Аккумулирование кадров с коррекцией дрейфа (DCFA)
Получение изображений (* – опционально)
- Максимальный размер кадра: 16k x 16k пикселей
- Соотношение сторон изображения: 1:1, 4:3 и 2:1
- Сшивка изображений, размер панорам не ограничен (требуется программный модуль Image Snapper) *
- Одновременное накопление сигналов с нескольких каналов детектирования (вплоть до 8 каналов)
- Псевдоокрашивание изображений и микширование многоканальных сигналов
- Множество форматов изображений, включая TIFF, PNG, BMP, JPEG и GIF
- Глубина градаций серого (динамический диапазон): 8 или 16 бит
TESCAN Essence™
- Настраиваемый графический интерфейс
- Многопользовательский интерфейс с учетными записями с настраиваемым уровнем доступа
- Панель быстрого поиска окон интерфейса
- Отмена последней команды / Возврат последней команды
- Отображение одного, двух, четырех или шести изображений одновременно в реальном времени
- Многоканальное цветное живое изображение
Автоматические и полуавтоматические процедуры
- Контроль эмиссии электронного пучка
- Нагрев электронной пушки
- Центрирование электронной пушки
- Центрирование электронной колонны
- Контроль вакуума
- Автоматическая диагностика
- Автоматизация всех этапов юстировки
- Авто контраст/яркость, автофокус
- In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени)
Программные модули Essence™ (* – опционально)
- Измерения (расстояния; периметры и площади кругов, эллипсов, квадратов и полей неправильной формы; экспорт измерений для статистической обработки и другие функции), контроль допусков
- Обработка изображений (коррекция яркости/контраста, улучшение резкости, подавление шумов, сглаживание и увеличение чёткости, дифференциальный контраст, коррекция тени, адаптивные фильтры, быстрое Фурье-преобразование и др. функции)
- Предустановки
- Гистограмма и шкала оттенков (LUT)
- SharkSEM™ Basic (удалённый контроль, требуется для интеграции с детектором EDS стороннего производителя) *
- 3D-модель схемы коллизий
- Площадь объекта (выделение на снимке объектов с близким уровнем серого и измерение площади, занимаемой этими объектами)
- Позиционер (навигация по образцу в соответствии с шаблоном, в качестве которого может выступать СЭМ-изображение, изображение с оптического микроскопа, фотография образца)
- Таймер выключения
- CORAL™ (корреляционная микроскопия для удобной навигации и совмещения СЭМ-снимков со снимками сторонних устройств, например, с оптических микроскопов) *
- Сшивка изображений (автоматический процесс накопления изображений и их сшивки) *
- Обозреватель образца для создания видеоряда из серии СЭМ-снимков, автоматически накопленных через заданные промежутки времени *
- TESCAN Flow™ (обработка СЭМ-данных в режиме offline) *
| Характеристики | |
| Регистрационное удостоверение | Да |
| Увеличение | непрерывное от 2× до 1 000 000× |