Сотрудничаем со строительными организациями, архитекторами и проектировщиками, ЛПУ санаториями. Быстрая обработка запроса. Выделяем персонального менеджера для работы с Вашим проектом.
- Артикул:319511
- 0
- Регистрационное удостоверение:Да
- Увеличение:непрерывное от 2× до 2 000 000×
- Показать все характеристики
Сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения с иммерсионной оптикой TriLens™ для исследований наноматериалов.
TESCAN MAGNA – это мощный инструмент получения изображений с ультравысоким разрешением для наблюдений поверхностных свойств наноматериалов. Сканирующий электронный микроскоп TESCAN MAGNA оснащён электронной колонной Triglav™, комбинирующей в себе иммерсионную оптику и так называемый режим crossover-free, что даёт особенный выигрыш в пространственном разрешении именно при низких энергиях первичного электронного пучка. Режим crossover-free — это режим, в котором нет уширения электронного пучка из-за эффекта расталкивания пространственного заряда, так как по ходу движения пучка нет кроссовера. Также колонна Triglav™ включает в себя уникальную систему детектирования, встроенную внутрь электронной колонны, с селекцией обратно отражённых электронов (BSE) как по энергиям, так и по углам разлёта, что улучшает композиционный контраст и, в частности, позволяет получать изображения с композиционным контрастом от самых тонких приповерхностных слоёв образца.TESCAN MAGNA — это наилучшее решение для получения изображений с самым высоким разрешением при малых ускоряющих напряжениях в тех случаях, когда изучаются немагнитные образцы. Уникальная система детектирования микроскопа MAGNA позволяет детально дифференцировать типы ответных сигналов благодаря наличию трёх вариантов исполнения детекторов вторичных электронов (один внутрикамерный SE-детектор и два внутрилинзовых) и трёх вариантов детекторов отражённых электронов (один внутрикамерный BSE-детектор и два внутрилинзовых). Высокая производительность при низких энергиях электронного пучка и разнообразие доступных режимов получения изображений контролируются новым программным обеспечением TESCAN Essence™. Дружественный интерфейс TESCAN Essence™, имеющий модульную архитектуру и настраиваемый пользователем под определённую задачу, упрощает управление микроскопом, что увеличивает пропускную способность исследований.
Микроскоп TESCAN MAGNA был разработан целенаправленно для получения СЭМ-изображений с ультравысоким разрешением, реализуемым при низких ускоряющих напряжениях. Зачастую этот микроскоп оснащён также детектором прошедших электронов STEM, который, напротив, применяется с высоким ускоряющим напряжением 30 кВ. Поэтому настоящий микроскоп станет наиболее подходящим выбором для работы с наноматериалами настоящего и будущего, такими как каталитические структуры, нанотрубки, наночастицы и материалы наносборки.
Модели микроскопов TESCAN MAGNA называются MAGNA LMH, MAGNA LMU, MAGNA GMH, MAGNA GMU в зависимости от размера камеры и наличия режима низкого вакуума (подробнее во вкладке «Характеристики»).
Ключевые преимущества:
- Получение высококонтрастных изображений немагнитных материалов с ультравысоким разрешением
- Уникальная система детектирования TriBE™ и TriSE™ (что означает три варианта исполнения SE-детектора и три варианта исполнения BSE-детектора) для детальной селекции ответного электронного сигнала
- Детектор обратно отраженных электронов, встроенный внутрь электронной колонны, с фильтрацией BSE-электронов по энергиям
- Технология In-Flight Beam Tracing™ для быстрого переключение между режимами, оптимальными для получения изображений либо для проведения аналитических исследований
- Интуитивно понятное модульное программное обеспечение Essence™ для удобной работы независимо от уровня опыта пользователя
Электронная колонна ультравысокого разрешения Triglav™ с иммерсионной оптикой и катодом Шоттки (* – опционально)
- Электронная колонна Triglav™, оснащенная составным объективом TriLens™, состоящим из трёх электромагнитных линз
- Внутрикамерные детекторы вторичных и отражённых электронов (SE и BSE)
- Встроенные внутрь электронной колонны детекторы In-Beam SE, In-Beam BSE, mid-angle BSE
- Диапазон энергий электронного пучка, падающего на образец: от 200 эВ до 30 кэВ (от < 50 эВ с опцией торможения пучка BDT, Beam Deceleration Technology *)
- Для изменения тока пучка в качестве устройства смены апертур используется электромагнитная линза
- Ток пучка: от 2 пА до 400 нА с непрерывной регулировкой
- Поле обзора: 7 мм при WD = 30 мм
- Увеличение: непрерывное от 2× до 2 000 000×
Разрешение электронной колонны (* – опционально)
- 1.2 нм при 1 кэВ
- 0.9 нм при 1 кэВ (с технологией торможения пучка BDT) *
- 0.6 нм при 15 кэВ
- 0.5 нм при 30 кэВ, STEM-детектор *
Вакуумная камера
Камера с маркировкой LM (* – опционально)
- Внутренний диаметр: 230 мм
- Количество портов: 12+ (количество портов может быть изменено под задачи заказчика)
- Тип подвески: активная электромагнитная
- Инфракрасная камера обзора
- Вторая инфракрасная камера обзора *
- Интегрированная плазменная очистка камеры образцов (деконтаминатор)
Столик в LM-камере
- Компуцентрический, моторизованный по 5-ти осям
- Диапазон перемещений столика по осям X и Y: 80 (X) × 60 (Y) мм
- Диапазон перемещений столика по оси Z: 45 мм
- Диапазон компуцентрического наклона: от – 80° до +80°
- Компуцентрическое вращение: 360° непрерывно
- Максимальная высота образца: 45 мм (72 мм без опции вращения столика)
Камера с маркировкой GM (* – опционально)
- Внутренняя ширина: 340 мм
- Внутренняя глубина: 315 мм
- Количество портов 20+ (количество портов может быть изменено под задачи заказчика)
- Тип подвески: активная электромагнитная
- Опция увеличения внутреннего объема камеры для 6” и 8” пластин *
- Опция увеличения внутреннего объема камеры для 6”, 8” и 12” пластин (со столиком образцов с расширенным диапазоном перемещений) *
- Опция увеличения внутреннего объема камеры для размещения параллельного рамановского микроскопа / спектрометра (RISE™) *
- Инфракрасная камера обзора
- Вторая инфракрасная камера обзора *
- Интегрированная плазменная очистка камеры образцов (деконтаминатор)
Столик в GM-камере (* – опционально)
- Компуцентрический, моторизованный по 5-ти осям
- Диапазон перемещений столика по осям X и Y: 130 мм
- Диапазон перемещений столика по оси Z: 90 мм
- Диапазон компуцентрического наклона: от – 60° до + 90°
- Компуцентрическое вращение: 360° непрерывно
- Максимальная высота образца: 90 мм (131 мм без опции вращения столика)
- Столик образцов с расширенным диапазоном перемещений *
Вакуум в камере образцов (* – опционально)
- Режим высокого вакуума HighVac™: < 9∙10-3 Па (MAGNA LMH и MAGNA GMH работают только в режиме HighVac™)
- Режим низкого вакуума UniVac™: 7 – 500 Па * (присутствует в MAGNA LMU и MAGNA GMU)
- Типы насосов: все насосы безмасляные
- Шлюз (ручной или моторизованный) *
- Чиллер
- Измеритель поглощенного тока, включающий в себя функцию датчика касания
- Внутрикамерный детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (SE)
- Встроенный в электронную колонну детектор вторичных электронов (In-Beam SE)
- Встроенный в электронную колонну детектор отражённых электронов с фильтрацией по энергиям (In-Beam f-BSE)
- Встроенный в электронную колонну детектор отражённых электронов, рассеянных на средние углы (Mid-angel BSE)
- Сцинтилляционный детектор вторичных электронов для работы в режиме низкого вакуума (LVSTD)*
- Выдвижной (опционально моторизованный) детектор отражённых электронов сцинтилляционного типа (R-BSE) *
- Выдвижной (опционально моторизованный) детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа, чувствительный в том числе в области низких энергий первичного пучка (LE-BSE) *
- 4-сегментный выдвижной (опционально моторизованный) полупроводниковый детектор отражённых электронов, чувствительный в том числе в области низких энергий первичного пучка (LE 4Q BSE) *
- Выдвижной (опционально моторизованный) детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа с водяным охлаждением, устойчив к высоким температурам < 800°C *
- Выдвижной (опционально моторизованный) детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа с Al-покрытием для одновременного детектирования BSE и катодолюминесцентного излучения (Al-BSE) *
- Компактный с ручным выдвижением панхроматический детектор катодолюминесцентного излучения со спектральным диапазоном 350 – 650 нм *
- Компактный с ручным выдвижением панхроматический детектор катодолюминесцентного излучения со спектральным диапазоном 185 – 850 нм *
- Компактный с ручным выдвижением детектор цветной катодолюминесценции Rainbow CL *
- Выдвижной панхроматический детектор катодолюминесцентного излучения со спектральным диапазоном 350 – 650 нм *
- Выдвижной панхроматический детектор катодолюминесцентного излучения со спектральным диапазоном 185 – 850 нм *
- Выдвижной детектор цветной катодолюминесценции Rainbow CL *
- Выдвижной моторизованный детектор прошедших электронов (R-STEM), изображения светлого поля (BF), тёмного поля (DF) и в рассеянных на большие углы электронах (HADF), держатель для 8 сеточек *
- EDS – энергодисперсионный спектрометр (интегрированный продукт другого производителя) *
- EBSD – анализ картин дифракции отражённых электронов (интегрированный продукт другого производителя) *
- WDS – волнодисперсионный спектрометр (интегрированный продукт другого производителя) *
Система сканирования
- Время выдержки: 20 нс – 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
- Варианты сканирования: полный кадр, выделенная область, сканирование по линии и в точке
- Сдвиг и вращение области сканирования, коррекция наклона поверхности образца
- Аккумулирование линий или кадров
- Динамический фокус
- Аккумулирование кадров с коррекцией дрейфа (DCFA)
Получение изображений (* – опционально)
- Максимальный размер кадра: 16k × 16k пикселей
- Соотношение сторон изображения: 1:1, 4:3 или 2:1
- Сшивка изображений (требуется программный модуль Essence™ Image Snapper) *
- Одновременное накопление сигналов с нескольких каналов детектирования (вплоть до 8 каналов)
- Псевдоокрашивание изображений и микширование многоканальных сигналов
- Множество форматов изображений, включая TIFF, PNG, BMP, JPEG и GIF
- Глубина градаций серого (динамический диапазон): 8 или 16 бит
TESCAN Essence™
- Настраиваемый графический интерфейс
- Многопользовательский интерфейс с учетными записями с настраиваемым уровнем доступа
- Панель быстрого поиска окон интерфейса
- Отмена последней команды / Возврат последней команды
- Отображение одного, двух, четырех или шести изображений одновременно в реальном времени
- Многоканальное цветное живое изображение
Автоматические и полуавтоматические процедуры
- Контроль эмиссии электронного пучка
- Автоматизация всех этапов юстировки
- Авто контраст/яркость, автофокус
- In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени)
- Оптимизация тока электронного пучка для выбранного диаметра электронного пучка, и наоборот
Программные модули Essence™ (* – опционально)
- Измерения (расстояния; периметры и площади кругов, эллипсов, квадратов и полей неправильной формы; экспорт измерений для статистической обработки и другие функции), контроль допусков
- Обработка изображений (коррекция яркости/контраста, улучшение резкости, подавление шумов, сглаживание и увеличение чёткости, дифференциальный контраст, коррекция тени, адаптивные фильтры, быстрое Фурье-преобразование и др. функции)
- Предустановки
- Гистограмма и шкала оттенков (LUT)
- SharkSEM™ Basic (удалённый контроль)
- 3D-модель схемы коллизий
- Площадь объекта (выделение на снимке объектов с близким уровнем серого и измерение площади, занимаемой этими объектами)
- Позиционер (навигация по образцу в соответствии с шаблоном, в качестве которого может выступать СЭМ-изображение, изображение с оптического микроскопа, фотография образца)
- Таймер выключения
- CORAL™ (корреляционная микроскопия для удобной навигации и совмещения СЭМ-снимков со снимками сторонних устройств, например, с оптических микроскопов) *
- Сшивка изображений (автоматический процесс накопления изображений и их сшивки) *
- Обозреватель образца для создания видеоряда из серии СЭМ-снимков, автоматически накопленных через заданные промежутки времени *
- SharkSEM™ Advanced (создание пользовательских алгоритмов, библиотека скриптов Python) *
- Расширенная самодиагностика *
- Программа-клиент Synopsys (расширение модуля Позиционер, которое совмещает данные макета из внешнего ПО Avalon MaskView c изображениями СЭМ или FIB через удаленное соединение; в основном предназначено для анализа неисправностей полупроводниковых устройств) *
- TESCAN Flow™ (обработка СЭМ-данных в режиме offline) *
| Характеристики | |
| Регистрационное удостоверение | Да |
| Увеличение | непрерывное от 2× до 2 000 000× |