Сотрудничаем со строительными организациями, архитекторами и проектировщиками, ЛПУ санаториями. Быстрая обработка запроса. Выделяем персонального менеджера для работы с Вашим проектом.
- Артикул:319510
- 0
- Регистрационное удостоверение:Да
- Показать все характеристики
Неиммерсионный аналитический сканирующий электронный микроскоп c ультравысоким разрешением для исследовательских задач на наноуровне.
TESCAN CLARA – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), позволяющий получать высококачественные изображения и проводить микроанализ, что является весьма актуальным в различных областях исследований и технологий. В СЭМ TESCAN CLARA используется технология TESCAN BrightBeam™, при которой объективная линза сочетает в себе магнитную и электростатическую линзы, что позволяет получать изображения с ультравысоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях и при отсутствии вокруг образца магнитных полей, благодаря чему нет ограничений на свойства образца. Можно изучать все виды образцов, включая магнитные.TESCAN CLARA оснащен уникальной мультидетекторной системой внутри электронной колонны, что позволяет регистрировать электроны с селекцией по углу их вылета и по энергиям, что дает предельно много информации о топографии образца и композиционных отличиях. Мультидетектор, оснащённый сеткой с регулируемым потенциалом смещения, позволяет проводить фильтрацию между вторичными (SE) и обратно отражёнными (BSE) электронами по энергетическому признаку, что повышает материальный контраст, а также дает возможность быстро переключаться между этими сигналами. Второй приосевой детектор Axial, также встроенный в электронную колонну, предназначен для эффективного сбора SE-сигнала при активации потенциальной трубки внутри колонны, SE-сигнал регистрируется без потерь при любых энергиях приземления электронного пучка. Это делает получение SE-изображений с ультравысоким разрешением рутинной задачей даже при низких энергиях приземления пучка электронов.
Кроме того, микроскоп TESCAN CLARA может быть оснащён двумя внутрикамерными детекторами: SE-детектором типа Эверхарта-Торнли в стандартной комплектации для топографического контраста с высоким уровнем сигнала и опциональным выдвижным детектором обратно отраженных электронов, чувствительным в том числе в области низких энергий первичного пучка. Последний собирает BSE-электроны, рассеянные на широкие углы, и обеспечивает высокий контраст даже при низких ускоряющих напряжениях. TESCAN CLARA также разработан для успешного решения аналитических задач благодаря технологиям In Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени) и Intermediate Lens™ (в качестве устройства смены апертур при регулировке тока пучка используется электромагнитная IML-линза). TESCAN CLARA может поддерживать высокое разрешение даже при больших токах пучка (до 400 нА), что полезно для ежедневных аналитических исследований. Микроскоп TESCAN CLARA – это по-настоящему универсальный инструмент, идеально подходящий для исследований наноматериалов, прецизионного контроля качества в высокотехнологичной промышленности, а также для исследований и разработок.
Модели микроскопов TESCAN CLARA называются CLARA LMH, CLARA LMU, CLARA GMH, CLARA GMU в зависимости от размера камеры и наличия режима низкого вакуума (подробнее во вкладке «Характеристики»).
Ключевые преимущества
- Уникальная система детектирования In-Beam BSE позволяет фильтровать вторичные сигналы как по энергиям, так и по углу разлёта
- Неиммерсионная электронная оптика для исследований материалов при низких энергиях пучка электронов и с ярким топографическим контрастом
- Отлично подходит для исследований чувствительных к пучку электронов и плохо проводящих электрический ток образцов
- Быстрая юстировка электронной колонны – получение изображений высокого качества и одновременное проведение аналитических исследований гарантированы технологией In-Flight Beam Tracing™
- Удобная и точная СЭМ-навигация по образцу в реальном времени при небольшом увеличении без необходимости использовать дополнительную оптическую навигационную камеру
- Интуитивно понятное модульное программное обеспечение Essence™ для лёгкой работы независимо от уровня опыта пользователя
- Объективная линза, сочетающая в себе магнитную и электростатическую линзы
- Потенциальная трубка внутри электронной колонны, обеспечивающая торможение созданного электронного пучка не потенциалом, приложенным к столику образцов, а потенциалом внутри колонны («beam booster»)
- Два устройства для детектирования электронного сигнала внутри колонны, для сбора сигналов SE и BSE
- Диапазон энергий электронного пучка, падающего на образец: от 50 эВ до 30 кэВ (< 50 эВ с опцией торможения пучка BDT, Beam Deceleration Technology *)
- Для изменения тока пучка в качестве устройства смены апертур используется электромагнитная линза
- Ток пучка: от 2 пА до 400 нА с непрерывной регулировкой
- Максимальное поле обзора: 7 мм при WD = 10 мм, более 50 мм при максимальном WD
- 1.4 нм при 1 кэВ
- 1.2 нм при 1 кэВ (с технологией торможения пучка BDT) *
- 0.9 нм при 15 кэВ
- 0.8 нм при 30 кэВ, STEM-детектор *
Камера с маркировкой LM (* – опционально)
- Внутренний диаметр: 230 мм
- Количество портов: 12+ (количество портов может быть изменено под задачи заказчика)
- Тип подвески: активная электромагнитная
- Инфракрасная камера обзора
- Вторая инфракрасная камера обзора *
- Интегрированная плазменная очистка камеры образцов (деконтаминатор)
- Компуцентрический, моторизованный по 5-ти осям
- Диапазон перемещений столика по осям X и Y: 80 (X) × 60 (Y) мм
- Диапазон перемещений столика по оси Z: 49 мм
- Диапазон компуцентрического наклона: от – 80° до +80°
- Компуцентрическое вращение: 360° непрерывно
- Максимальная высота образца: 49 мм (76 мм без опции вращения столика)
- Внутренняя ширина: 340 мм
- Внутренняя глубина: 315 мм
- Количество портов 20+ (количество портов может быть изменено под задачи заказчика)
- Тип подвески: активная электромагнитная
- Опция увеличения внутреннего объема камеры для 6” и 8” пластин *
- Опция увеличения внутреннего объема камеры для 6”, 8” и 12” пластин (со столиком образцов с расширенным диапазоном перемещений) *
- Опция увеличения внутреннего объема камеры для размещения параллельного рамановского микроскопа / спектрометра (RISE™) *
- Инфракрасная камера обзора
- Вторая инфракрасная камера обзора *
- Интегрированная плазменная очистка камеры образцов (деконтаминатор)
- Компуцентрический, моторизованный по 5-ти осям
- Диапазон перемещений столика по осям X и Y: 130 мм
- Диапазон перемещений столика по оси Z: 95 мм
- Диапазон компуцентрического наклона: от – 60° до +90°
- Компуцентрическое вращение: 360° непрерывно
- Максимальная высота образца: 95 мм (136 мм без опции вращения столика)
- Столик образцов с расширенным диапазоном перемещений *
Вакуум в камере образцов (* – опционально)
- Режим высокого вакуума HighVac™: < 9 ∙ 10-3 Па (CLARA LMH и CLARA GMH работают только в режиме HighVac™)
- Режим низкого вакуума UniVac™: 7 – 500 Па * (присутствует в CLARA LMU и CLARA GMU)
- Типы насосов: все насосы безмасляные
- Шлюз (ручной или моторизованный) *
- Измеритель поглощенного тока, включающий в себя функцию датчика касания
- Внутрикамерный детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли (SE)
- Встроенный в электронную колонну мультидетектор с возможностью энергетической фильтрации (MD)
- Встроенный в электронную колонну приосевой детектор вторичных/отраженных электронов (Axial)
- Сцинтилляционный детектор вторичных электронов для работы в режиме низкого вакуума (LVSTD)*
- Выдвижной моторизованный детектор отражённых электронов сцинтилляционного типа (R-BSE) *
- Выдвижной моторизованный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа, чувствительный в том числе в области низких энергий первичного пучка (LE-BSE) *
- 4-сегментный выдвижной моторизованный полупроводниковый детектор отражённых электронов, чувствительный в том числе в области низких энергий первичного пучка (LE 4Q BSE) *
- Выдвижной моторизованный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа с водяным охлаждением, устойчив к высоким температурам <800°C *
- Выдвижной моторизованный детектор отраженных электронов сцинтилляционного типа с Al-покрытием для одновременного детектирования BSE- и катодолюминесцентного излучения (Al-BSE) *
- Компактный с ручным выдвижением панхроматический детектор катодолюминесцентного излучения со спектральным диапазоном 350 – 650 нм *
- Компактный с ручным выдвижением панхроматический детектор катодолюминесцентного излучения со спектральным диапазоном 185 – 850 нм *
- Компактный в ручным выдвижением детектор цветной катодолюминесценции Rainbow CL *
- Выдвижной моторизованный детектор прошедших электронов (R-STEM), изображения светлого поля (BF), тёмного поля (DF) и в рассеянных на большие углы электронах (HADF), держатель для 8 сеточек *
- EDS – энергодисперсионный спектрометр (интегрированный продукт другого производителя) *
- EBSD – анализ картин дифракции отражённых электронов (интегрированный продукт другого производителя) *
- WDS – волнодисперсионный спектрометр (интегрированный продукт другого производителя) *
- Время выдержки: 20 нс – 10 мс на пиксель, регулируется ступенчато или непрерывно
- Варианты сканирования: полный кадр, выделенная область, сканирование по линии и в точке
- Сдвиг и вращение области сканирования, коррекция наклона поверхности образца
- Аккумулирование линий или кадров
- Динамический фокус
- Аккумулирование кадров с коррекцией дрейфа (DCFA)
- Максимальный размер кадра: 16k x 16k пикселей
- Соотношение сторон изображения: 1:1, 4:3 и 2:1
- Сшивка изображений, размер панорам не ограничен (требуется программный модуль Image Snapper) *
- Одновременное накопление сигналов с нескольких каналов детектирования (вплоть до 8 каналов)
- Псевдоокрашивание изображений и микширование многоканальных сигналов
- Множество форматов изображений, включая TIFF, PNG, BMP, JPEG и GIF
- Глубина градаций серого (динамический диапазон): 8 или 16 бит
TESCAN Essence™
- Настраиваемый графический интерфейс
- Многопользовательский интерфейс с учетными записями с настраиваемым уровнем доступа
- Панель быстрого поиска окон интерфейса
- Отмена последней команды / Возврат последней команды
- Отображение одного, двух, четырех или шести изображений одновременно в реальном времени
- Многоканальное цветное живое изображение
- Контроль эмиссии электронного пучка
- Автоматизация всех этапов юстировки
- Авто контраст/яркость, автофокус
- In-Flight Beam Tracing™ (технология контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка в реальном времени)
- Оптимизация тока электронного пучка для выбранного диаметра электронного пучка, и наоборот
- Измерения (расстояния; периметры и площади кругов, эллипсов, квадратов и полей неправильной формы; экспорт измерений для статистической обработки и другие функции), контроль допусков
- Обработка изображений (коррекция яркости/контраста, улучшение резкости, подавление шумов, сглаживание и увеличение чёткости, дифференциальный контраст, коррекция тени, адаптивные фильтры, быстрое Фурье-преобразование и др. функции)
- Предустановки
- Гистограмма и шкала оттенков (LUT)
- SharkSEM™ Basic (удалённый контроль)
- 3D-модель схемы коллизий
- Площадь объекта (выделение на снимке объектов с близким уровнем серого и измерение площади, занимаемой этими объектами)
- Позиционер (навигация по образцу в соответствии с шаблоном, в качестве которого может выступать СЭМ-изображение, изображение с оптического микроскопа, фотография образца)
- Таймер выключения
- CORAL™ (корреляционная микроскопия для удобной навигации и совмещения СЭМ-снимков со снимками сторонних устройств, например, с оптических микроскопов)*
- Сшивка изображений (автоматический процесс накопления изображений и их сшивки) *
- Обозреватель образца для создания видеоряда из серии СЭМ-снимков, автоматически накопленных через заданные промежутки времени *
- SharkSEM™ Advanced (создание пользовательских алгоритмов, библиотека скриптов Python) *
- Расширенная самодиагностика *
- Программа-клиент Synopsys (расширение модуля Позиционер, которое совмещает данные макета из внешнего ПО Avalon MaskView c изображениями СЭМ или FIB через удаленное соединение; в основном предназначено для анализа неисправностей полупроводниковых устройств) *
- TESCAN Flow™ (обработка СЭМ-данных в режиме offline) *
| Характеристики | |
| Регистрационное удостоверение | Да |