Сотрудничаем со строительными организациями, архитекторами и проектировщиками, ЛПУ санаториями. Быстрая обработка запроса. Выделяем персонального менеджера для работы с Вашим проектом.
- Артикул:316640
- 0
- Наклон:−15° / +75° (-10° ... +60° UC)
- Поворот:n x 360°
- Регистрационное удостоверение:Да
- Тип микроскопа:двухлучевая система
- Показать все характеристики
Ключевые характеристики
В двухлучевой системе Helios реализованы достижения в области автоэмиссионных SEM (FESEM), фокусированного ионного пучка (FIB) и совместного использования этих технологий.
Helios NanoLab специально разработан как инструмент, позволяющий максимально широко использовать возможности сверхвысокого разрешения (XHR) при выполнении 2D- и 3D-анализа, создании нанопрототипов и подготовке образцов высочайшего качества.
Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: точность значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ в режиме STEM для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности.
Предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования изображений SE и BSE (вторичных и обратноотражённых электронов) в зависимости от угла и энергии пучка.
Основные характеристики THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios:
В двухлучевой системе Helios реализованы достижения в области автоэмиссионных SEM (FESEM), фокусированного ионного пучка (FIB) и совместного использования этих технологий.
Helios NanoLab специально разработан как инструмент, позволяющий максимально широко использовать возможности сверхвысокого разрешения (XHR) при выполнении 2D- и 3D-анализа, создании нанопрототипов и подготовке образцов высочайшего качества.
Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: точность значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ в режиме STEM для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности.
Предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования изображений SE и BSE (вторичных и обратноотражённых электронов) в зависимости от угла и энергии пучка.
Основные характеристики THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios:
- Самое быстрое получение информации с наноуровня благодаря использованию лучшей среди аналогов колонны СЭМ – Elstar – высокого разрешения, стабильности и автоматизации.
- Чёткая, улучшенная контрастность при беззарядном получении изображений за счёт шести интегрированных детекторов, расположенных в колонне и под линзой .
- Создание чётких изображений благодаря интегрированной системе контроля качества образца и специальным режимам визуализации, таким как SmartScan™ и DCFI.
- Самая быстрая и качественная подготовка поперечных срезов.
- Возможность получения информации высокого разрешения на различных уровнях, трехмерных изображений и информации об образце при повышенной температуре.
- Быстрое, точное и надёжное травление и осаждение самых неоднородных и сложных структур размером меньше 10 нм.
- Работа с образцами, настроенная на конкретную задачу, благодаря возможностям столика (перемещения в горизонтальной плоскости 110 и 150 мм) с пьезо-приводом.
- Распознавание самых мелких деталей благодаря использованию монохроматора (UC) и его работе при низких энергиях пучка на субнанометровом уровне.
Тип микроскопа | двухлучевая система |
Тип образцов | металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
Разрешение от, нм | 0.6 |
Разрешение до, нм | 30 |
Область сканирования от, мм | 0 |
Область сканирования до, мм | 150 |
Электронная пушка | Elstar; термополевой эмиттер Шоттки; возможность переключения между режимами без нарушения вакуума; технология UC (монохроматор) |
Диапазон энергии пучка у поверхности образца | 20 В — 30 кВ |
Объектив FESEM-колонны | 60° объектив с двумя линзами с защитой полюсного наконечника |
Апертуры объектива | нагреваемые |
Сканирование | электростатическое |
Линза | технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™ |
Торможение пучка с подачей потенциала на предметный столик (FESEM-колонна) | от 0 В до —4 кВ |
Макс. ток пучка ионной колонны | до 65 нА |
Диапазон ускоряющего напряжения | 500 В — 30 кВ |
Откачка | двухступенчатая дифференциальная |
Количество апертур | 15 |
Срок службы источника электронов | 12 месяцев |
Срок службы источника ионов | гарантия 1000 часов |
Максимальная ширина горизонтального поля | электронный пучок: 2,3 мм в точке совпадения пучка (рабочее расст.4 мм); ионный пучок: 0,9 мм при 8 кВ в точке совпадения пучка |
Ток зонда | электронный пучок: от 0,8 пA до 22 нА (CX); от 0,8 пA до 100 нА (UC); ионный пучок: 0,1 пA — 65 нA (апертурная полоса с 15 положениями) |
Предметный столик | вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик |
Перемещение в плоскости XY | 110×110 мм (150×150 UC) |
Моторизованное перемещение по оси Z | 65 мм (10 мм UC) |
Поворот | n x 360° |
Наклон | −15° / +75° (-10° ... +60° UC) |
Максимальная высота образца | расстояние 85 мм до точки Вцентрика (55 мм UC) |
Максимальный вес образца | 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
Максимальный размер образца | Ø150 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |
Характеристики | |
Наклон | −15° / +75° (-10° ... +60° UC) |
Поворот | n x 360° |
Регистрационное удостоверение | Да |
Тип микроскопа | двухлучевая система |