• Артикул:
    316640
  • Наклон:
    −15° / +75° (-10° ... +60° UC)
  • Поворот:
    n x 360°
  • Регистрационное удостоверение:
    Да
  • Тип микроскопа:
    двухлучевая система
  • Показать все характеристики
ЦЕНА ПО ЗАПРОСУ
Оснащаем под ключ!

Сотрудничаем со строительными организациями, архитекторами и проектировщиками, ЛПУ санаториями. Быстрая обработка запроса. Выделяем персонального менеджера для работы с Вашим проектом.

Ключевые характеристики

В двухлучевой системе Helios реализованы достижения в области автоэмиссионных SEM (FESEM), фокусированного ионного пучка (FIB) и совместного использования этих технологий. 

Helios NanoLab специально разработан как инструмент, позволяющий максимально широко использовать возможности сверхвысокого разрешения (XHR) при выполнении 2D- и 3D-анализа, создании нанопрототипов и подготовке образцов высочайшего качества.

Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: точность значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ в режиме STEM для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности. 

Предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования изображений SE и BSE (вторичных и обратноотражённых электронов) в зависимости от угла и энергии пучка.

Основные характеристики THERMO FISHER SCIENTIFIC Helios:

  • Самое быстрое получение информации с наноуровня благодаря использованию лучшей среди аналогов колонны СЭМ – Elstar – высокого разрешения, стабильности и автоматизации.
  •  Чёткая, улучшенная контрастность при беззарядном получении изображений за счёт шести интегрированных детекторов, расположенных в колонне и под линзой .
  •  Создание чётких изображений благодаря интегрированной системе контроля качества образца и специальным режимам визуализации, таким как SmartScan™ и DCFI.
  •  Самая быстрая и качественная подготовка поперечных срезов.
  •  Возможность получения информации высокого разрешения на различных уровнях, трехмерных изображений и информации об образце при повышенной температуре.
  •  Быстрое, точное и надёжное травление и осаждение самых неоднородных и сложных структур размером меньше 10 нм.
  •  Работа с образцами, настроенная на конкретную задачу, благодаря возможностям столика (перемещения в горизонтальной плоскости 110 и 150 мм) с пьезо-приводом.
  •  Распознавание самых мелких деталей благодаря использованию монохроматора (UC) и его работе при низких энергиях пучка на субнанометровом уровне.
Характеристики

Тип микроскопадвухлучевая система
Тип образцовметаллы, микроэлектроника, минералы, непроводящие
Разрешение от, нм0.6
Разрешение до, нм30
Область сканирования от, мм0
Область сканирования до, мм150
Электронная пушкаElstar; термополевой эмиттер Шоттки; возможность переключения между режимами без нарушения вакуума; технология UC (монохроматор)
Диапазон энергии пучка у поверхности образца20 В — 30 кВ
Объектив FESEM-колонны60° объектив с двумя линзами с защитой полюсного наконечника
Апертуры объективанагреваемые
Сканированиеэлектростатическое
Линзатехнология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
Торможение пучка с подачей потенциала на предметный столик (FESEM-колонна)от 0 В до —4 кВ
Макс. ток пучка ионной колонныдо 65 нА
Диапазон ускоряющего напряжения500 В — 30 кВ
Откачкадвухступенчатая дифференциальная
Количество апертур15
Срок службы источника электронов12 месяцев
Срок службы источника ионовгарантия 1000 часов
Максимальная ширина горизонтального поляэлектронный пучок: 2,3 мм в точке совпадения пучка (рабочее расст.4 мм); ионный пучок: 0,9 мм при 8 кВ в точке совпадения пучка
Ток зондаэлектронный пучок: от 0,8 пA до 22 нА (CX); от 0,8 пA до 100 нА (UC); ионный пучок: 0,1 пA — 65 нA (апертурная полоса с 15 положениями)
Предметный столиквцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик
Перемещение в плоскости XY110×110 мм (150×150 UC)
Моторизованное перемещение по оси Z65 мм (10 мм UC)
Поворотn x 360°
Наклон−15° / +75° (-10° ... +60° UC)
Максимальная высота образцарасстояние 85 мм до точки Вцентрика (55 мм UC)
Максимальный вес образца500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°)
Максимальный размер образцаØ150 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)
Характеристики
Наклон −15° / +75° (-10° ... +60° UC)
Поворот n x 360°
Регистрационное удостоверение Да
Тип микроскопа двухлучевая система